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J-GLOBAL ID:201702271583300318   整理番号:17A0885739

シリコンベース不斉縦型ナノワイヤ光検出器の光学的特性【Powered by NICT】

Optical Characteristics of Silicon-Based Asymmetric Vertical Nanowire Photodetectors
著者 (4件):
資料名:
巻: 64  号:ページ: 2261-2266  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シリコンベースの垂直ナノワイヤ(NW)光検出器(PD)の波長選択吸収現象は,三次元数値シミュレーションを用いて調べた。シリコンNWとその周囲材料の間の屈折率の違いは,非対称と同様に対称構造物のためのいくつかのspecificwavelengthsで直径依存導波路効果を誘導する。しかし上面と底面の間の直径の大きな差を持つ非対称北西PDは導波路効果の損失を示した。全てNWPDsはNWの高さを増加すると高い外部量子効率(EQE)ピークを達成した。北西ピッチを減少またはNW密度の増加もawide範囲ofwavelengthsのEQEピーク値を増加させるが,密に充填されたNWは,最も近いNWの間の高い結合を誘導し,このため波長選択特性を失う。わずかに底部広い非対称構造を有する垂直NW PDは,狭い上部と広い底部シリコンNW断面積のために入射光の反射率と透過率を減少させ,それぞれ,より高いEQEを達成した。底広い非対称北西PDである光学特性を向上させるだけでなく,光センサ応用のための導波路特性を維持するために有望である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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