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J-GLOBAL ID：201702272294782318   整理番号：17A0732638

316Lステンレス鋼基板上にマグネトロンスパッタリングしたER_2O_3/ER被膜の後処理について検討した。【JST・京大機械翻訳】

Effects of Heat Treatment on Er_2O_3/Er Coatings Grown by Magnetron Sputtering on 316L Stainless Steel

著者 (4件)： Yang Xudong (Super Conducting Materials Research Center,General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  Li Tao (Super Conducting Materials Research Center,General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  Gu Hongwei (Super Conducting Materials Research Center,General Research Institute for Nonferrous Metals) ,  Tang Mei (Super Conducting Materials Research Center,General Research Institute for Nonferrous Metals)
資料名： Zhongguo Xitu Xuebao  (Zhongguo Xitu Xuebao)
巻： 27  号： 2  ページ： 276-281  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2244A  ISSN： 1000-4343  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングにより316Lステンレス鋼の表面に酸化被覆を調製した。コーティングの相組成,表面モルフォロジー,および被覆と基板の結合に及ぼす熱処理温度の影響を,遷移金属として金属を用いて研究し,XRD,SEM,および膜結合力の解析結果は,遷移層を有する酸化被覆が,均一で,均一であることを示した。焼なまし処理により,酸化の結晶化特性が改善され,800°Cの熱処理により,金属間化合物ERFE3が,基板と基板の間の結合強度を増加させることがわかった。絶縁抵抗率試験結果は,ER_2O_3被覆の絶縁抵抗が1×10(13)~1×10(15)ΩCMであり,絶縁性能が良好であることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 絶縁抵抗 ,  X線回折 ,  *後処理 ,  酸化 ,  金属間化合物 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  被覆 ,  付着強さ ,  *皮膜 ,  焼なまし ,  相組成
準シソーラス用語： 遷移層 ,  熱処理温度 ,  表面形態 ,  *SUS316L , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： magnetron sputtering ,  316L stainless steel ,  coating ,  heat treatment ,  interfacial bonding strength ,  rare earths

分類 (2件)： 医用素材  (GA05040H) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 316Lステンレス鋼 ,  マグネトロンスパッタリング ,  Er ,  被膜 ,  後処理