文献

J-GLOBAL ID：201702272739494706   整理番号：17A0576469

高硬度脆性材料の超音波研磨加工に関する基礎的研究(第2報)-サファイアに対する加工特性-

著者 (5件)： 神雅彦 (日本工大) ,  金井秀生 (industria) ,  高橋一彰 (industria) ,  渡辺健志 (日進工具) ,  後藤隆司 (日進工具)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A02  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高硬度脆性材料に対する超音波研磨特性について研究した。半径方向に周波数38kHz,振幅10μm程度で超音波振動するダイヤモンド電着砥石を製作し,同砥石を回転させ,サファイア試験片を平面研摩した。その結果,加工量,切りくず性状,研磨面などの加工特性を明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *周波数 ,  *超音波振動 ,  *ダイヤモンド砥石 ,  *サファイア ,  試験片 ,  *研磨 ,  切り屑 ,  形態 ,  *研磨面 ,  *超音波加工 ,  *超音波 ,  *脆性材料 ,  *硬度
準シソーラス用語： ダイヤモンド電着砥石 ,  切りくず形態 ,  高硬度

分類 (3件)： 研削  (QC03000R) ,  その他の表面処理  (WC08070F) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (2件)：

• 坂本武司他:4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究,砥粒加工学会誌,Vol.58,No.4,p.24-29,(2014).
• 神雅彦:超音波振動が砥粒加工に与える効果,2015年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,p.605-606.

タイトルに関連する用語 (6件)： 高硬度脆性材料 ,  超音波 ,  研磨加工 ,  基礎的研究 ,  サファイア ,  加工特性