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J-GLOBAL ID：201702273470940268   整理番号：17A0118167

デュアルモードヘテロダインNEMS発振器を用いたセンシング応用のための同時モード追跡【Powered by NICT】

Simultaneous mode tracking for sensing applications with dual-mode heterodyne NEMS oscillator

著者 (6件)： Gourlat Guillaume (Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France) ,  Sansa Marc (Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France) ,  Jourdan Guillaume (Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France) ,  Villard Patrick (Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France) ,  Sicard Gilles (Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France) ,  Hentz Sebastien (Univ. Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケイ素NEMS共振器の第一及び第二モードで同時に動作するヘテロダイン自励発振器の最初の実験的実証を報告した。このアーキテクチャは生物学的質量センシングの分野における実世界応用に必要な二重クランプ共振器の最初の二個の共振モードの同時モニタリングに取り組んでいる。25MHzと70MHz付近のNEMS運動誘起電気信号は数十キロヘルツのエレクトロニクスの帯域幅制約を低減し,NEMS作動と検出電極間のフィードスルーを制限するまでシフトしたこの振動子はダウンミキシング方式に基づいている。本論文では,開ループおよび閉ループにおける振動子測定結果を提示し,周波数安定性を評価した。シリコン上に実装された場合にこの発振器方式はかさ高い回路による今日の限られたNEMS集積密度を回避するために役立つであろう。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 帯域幅 ,  自励発振 ,  周波数安定度 ,  制約条件 ,  電気信号 ,  ケイ素 ,  電子技術 ,  共振器 ,  振動子 ,  クランプ ,  *発振器
準シソーラス用語： フィードスルー ,  共振モード ,  *ヘテロダイン方式 ,  *NEMS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  音響の励起・発生  (BB03020V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (5件)： NEMS ,  発振器 ,  センシング ,  応用 ,  追跡