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J-GLOBAL ID：201702273765706294   整理番号：17A1301893

ミストCVD法による炭化タングステン薄膜の作製と機械的特性の評価

著者 (4件)： 吉田拓司 (京大 大学院) ,  池之上卓己 (京大 大学院) ,  三宅正男 (京大 大学院) ,  平藤哲司 (京大 大学院)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 136th  ページ： 138-139  発行年： 2017年09月04日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *炭化タングステン ,  *セラミック膜 ,  *化学蒸着 ,  ミスト ,  結晶構造 ,  微細構造 ,  *押込硬さ ,  Young率

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (6件)： ミストCVD法 ,  炭化タングステン ,  薄膜 ,  作製 ,  機械的特性 ,  評価