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J-GLOBAL ID:201702274368222174   整理番号:17A0792238

垂直側壁を持つ相加的にパターン形成した強誘電体薄膜【Powered by NICT】

Additively patterned ferroelectric thin films with vertical sidewalls
著者 (4件):
資料名:
巻: 100  号:ページ: 848-858  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0253A  ISSN: 0002-7820  CODEN: JACTAW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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エレクトロセラミック薄膜の機能特性は,微小電子機械システム(MEMS)応用のために使われる減法パターニング技術により分解される。本研究では,代替蒸着法,ジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)液体前駆体はスタンプ井戸(スタンプ突起よりむしろ)から所望の形状の基板上に印刷を調べた。井戸からの印刷はスタンプ突起から印刷溶液に比べて側壁角度(~1から>35度)を有意に増加させた。PZT特徴のアレイを印刷し,特性化し,同じ厚さの連続PZT薄膜と比較した。三百ナノメータ厚印刷PZT特徴は誘電率730と0.022の損失正接を示した。特徴は26μC/cm~2の残留分極と95kV/cmの抗電場を示した。特徴の圧電応答は 5.2C/m~2のe_31,fを生成した。この技術はまた,前パターン形成した基板上に直接印刷するために使用した。印刷パラメータの最適化は,90°の側壁を持つパターン化した膜が得られた。横方向の特徴サイズは百μmの~1μmまで低下した。添加では,いくつかのデバイス設計した絶縁体(SOI)ウエハ(厚さ0.35/1/500μmのSi/SiO_2/Si)シリコン上に予めパターン化した。トップパターン化したシリコンは,基礎となる材料から放出され,PZTは直接自立構造に印刷し,結晶化した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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