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J-GLOBAL ID：201702274411669725   整理番号：17A0831554

高透明導電性AlドープZnO薄膜の表面微細構造進化とCIGS太陽電池におけるその応用【Powered by NICT】

Surface microstructure evolution of highly transparent and conductive Al-doped ZnO thin films and its application in CIGS solar cells

著者 (9件)： Cheng Ke (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Liu Jingjing (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Jin Ranran (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Liu Jingling (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Liu Xinsheng (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Lu Zhangbo (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Liu Ya (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Liu Xiaolan (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China) ,  Du Zuliang (Key Lab for Special Functional Materials of Ministry of Education, Collaborative Innovation Center of Nano Functional Materials and Applications, Henan University, Kaifeng, Henan Province, 475004, PR China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 409  ページ： 124-131  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)は,光起電力応用のための非常に良好な透明導電性酸化物として集中的な関心を集めている。本研究では,AZO膜をラジオ周波数(RF)マグネトロンスパッタリングによりガラス基板上に堆積した。AZO膜の形態的,構造的,光学的および電気的性質に及ぼす基板温度の影響を系統的に調べた。結果から,すべてのAZO膜は,c軸優先配向した六方晶構造を持つことを示した。形態学的および電気的測定は,基板温度が微細構造,AZO膜の光学的および電気的性質に強い影響を持つことを明らかにした。AZO膜は紫外から高度に透明で最も高い平均透明度83%を超えると近赤外領域に達した。最小抵抗率は6.1×10~ 4Ωcmと低かった。キャリア濃度と移動度は3.357×10~20cm~ 3と30.48cm~/Vsであった。最後に,AZO膜の性能を透明電極としてCu(In_1 xGa_x)Se_2(CIGS)光起電素子でのその実用によって評価した。高度に透明で導電性特徴の利点から,最も効率的なデバイスが,短絡電流密度28.99mA~の2名のうち,430mVの開回路電圧,及び標準条件下で62.44のフィルファクタで,7.8%の収率を明らかにした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャリア密度 ,  モルフォロジー ,  *導電性 ,  透明度 ,  基板温度 ,  酸化亜鉛 ,  アルミニウム ,  マグネトロンスパッタリング ,  透明電極 ,  *微細構造 ,  電気抵抗率 ,  光起電素子
準シソーラス用語： *セレン化ガリウムインジウム銅 ,  開回路電圧 ,  透明導電性酸化物 ,  *CIGS太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： AZO薄膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  高透明導電性 ,  基板温度 ,  表面微細構造 ,  CIGS光起電素子

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 導電性 ,  AlドープZnO ,  薄膜 ,  微細構造進化 ,  CIGS太陽電池 ,  応用