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J-GLOBAL ID:201702274687746684   整理番号:17A0036185

広がる応用!UV技術の可能性を探る 全固体レーザーと非線形周波数変換による紫外・真空紫外光源開発の現状

著者 (2件):
資料名:
号: 421  ページ: 41-45  発行年: 2017年01月10日 
JST資料番号: Y0019A  ISSN: 0286-9659  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本稿では,主として,全固体レーザー,ファイバーレーザー,非線形周波数変換を基礎として,100~400nm領域のコヒーレント紫外及び真空紫外光源の最近の開発の動向について紹介した。コヒーレント紫外光源については,全固体レーザーからファイバーレーザーへの展開,ファイバーレーザーを用いた超短パルス紫外光源,産業応用へ対応する高安定深紫外線光源などについて述べた。コヒーレント真空紫外光源については,非線形周波数変換による真空紫外線の発生,全固体コヒーレント真空紫外光源などについて述べた。
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分類 (2件):
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固体レーザ  ,  光源 

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