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J-GLOBAL ID：201702275044919560   整理番号：17A0381438

プログラム化された磁気異方性を持つ歪設計された3次元磁気マイクロアクチュエータ【Powered by NICT】

Strain engineered 3D magnetic micro actuators with programmed magnetic anisotropy

著者 (3件)： Peters Christian (Micro and Nanosystems, ETH Zurich, Zurich, Switzerland) ,  Staufert Silvan (Micro and Nanosystems, ETH Zurich, Zurich, Switzerland) ,  Hierold Christofer (Micro and Nanosystems, ETH Zurich, Zurich, Switzerland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 258-261  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,超常磁性高分子複合材料におけるプログラムされた磁気異方性と歪エンジニアリングを組み合わせたものである。提案したアプローチは,単一ウエハスケールの作製段階で形状に依存しない磁気特性を持つ三次元(3D)マイクロアクチュエータに平面ストリップの変形を可能にした。開発されたプロセスは,パターン特徴サイズを可能にする粒子含有量10vol%の超常磁性高分子複合材料を用いた五μm以下であった。この方法の実現可能性は,形状に依存しない磁気特性と100μmほどの小さい直径を持つ,人工細菌鞭毛(ABF)としても知られている,螺旋状の水泳マイクロロボットを作製することによって実証した。形状から磁気特性を分離することの必要性は,形状に依存しない磁気的性質,プログラムされた異方性を持つABFのみが望まれている移動パターンを行うことができることを示すことにより確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 細菌 ,  *磁気 ,  *異方性 ,  磁気的性質 ,  *計算機プログラミング ,  鞭毛 ,  *マイクロアクチュエータ ,  帯板 ,  *磁気異方性 ,  水泳 ,  超常磁性 ,  *三次元 ,  マイクロロボット

分類 (3件)： 金属の磁気異方性・磁気機械効果  (BM06102S) ,  強磁性共鳴,反強磁性共鳴,フェリ磁性共鳴  (BM07030P) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (6件)： 磁気異方性 ,  歪 ,  設計 ,  3次元 ,  磁気 ,  マイクロアクチュエータ