材料の超高速レーザ処理:科学から工業へ【Powered by NICT】

Malinauskas Mangirdas; Zukauskas Albertas; Hasegawa Satoshi; Hayasaki Yoshio; Mizeikis Vygantas; Buividas Ricardas; Juodkazis Saulius

文献

J-GLOBAL ID：201702276342049248 整理番号：17A0207178

材料の超高速レーザ処理:科学から工業へ【Powered by NICT】

Ultrafast laser processing of materials: from science to industry

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資料名：
巻： 5 号： 3 ページ： e16133-01-e16133-14 発行年： 2016年
JST資料番号： C2855A ISSN： 2095-5545 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：中国 (CHN) 言語：英語 (EN)

超短レーザパルスによる材料の処理は,過去10年間に有意に進化してきたとその科学的,技術的および工業的可能性を明らかにするために始めている。超高速レーザ製造では,強く集束させたフェムト秒及びピコ秒レーザパルスの光エネルギーは光励起された電子と格子イオン間の熱エネルギー交換よりはるかに速い時間スケールで二-/多光子励起による材料のバルク中に正確に定義された位置に供給することができた。最高精度,サブ100nmサイズ領域での局所光改質を誘導する光イオン化と熱プロセスの制御を達成した。最新の超短レーザ加工技術は,高い0.1 1μmの空間分解能とほぼ無制限三次元構造化能力を利用した。調整可能なパルス幅,空間時間チャープ,位相面傾斜と分極は広いパラメータ空間による光修飾の制御を可能にする。成熟オプトelectrical/mechanical技術はm/秒に近い高速実験室と工場移動をもたらすレーザ処理速度を可能にした。重要な側面と最新の成果は空間分解能と全作製効率の間の基本的な関係に重点を置いてレビューした。電気通信におけるセンチメートルスケールの足場とフォトニックワイヤボンディングでマイクロメータ特徴精度を実現する新たな生物医学的応用を強調した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

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特殊加工 , 非線形光学

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