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J-GLOBAL ID：201702276743230550   整理番号：17A0325217

酸素プラズマ処理による多層HfSe_2電界効果トランジスタの調整可能な電気的性質【Powered by NICT】

Tunable electrical properties of multilayer HfSe₂ field effect transistors by oxygen plasma treatment

著者 (12件)： Kang Moonshik (College of Information and Communication Engineering and Sungkyunkwan Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University, Suwon 16419, Republic of Korea. [e-mail]) ,  Rathi Servin ,  Lee Inyeal ,  Li Lijun ,  Khan Muhammad Atif ,  Lim Dongsuk ,  Lee Yoontae ,  Park Jinwoo ,  Yun Sun Jin ,  Youn Doo-Hyeb ,  Jun Chungsam ,  Kim Gil-Ho
資料名： Nanoscale  (Nanoscale)
巻： 9  号： 4  ページ： 1645-1652  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2323A  ISSN： 2040-3364  CODEN： NANOHL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 層の厚さと酸素プラズマ処理を最適化することにより,それらの電気的性質を選択的に調整するためにHfSe_2電界効果トランジスタを系統的に調べた。最適化プラズマ処理HfSe_2電界効果トランジスタは四桁の大きさ,27から10~~5の高いオン/オフ比の改善,2.16~3.04cm~2V~ 1s~ 1からの電界効果移動度の増加,30.6から4.8VにDEC~ 1サブしきい値スイング向上,空乏モード及び増強モードの間の正の閾値電圧シフトを示し,から 7.02から11.5Vプラズマ処理HfSe_2光検出器は可視光の近赤外領域から合理的な光応答性を示した。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 最適化 ,  多層 ,  *プラズマ処理 ,  光検出器 ,  *FET【トランジスタ】 ,  可視光 ,  *電気的性質
準シソーラス用語： 光応答 ,  近赤外領域 ,  閾値電圧シフト ,  サブ閾値 ,  電界効果移動度 ,  *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸素プラズマ ,  多層 ,  電界効果トランジスタ ,  電気的性質