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J-GLOBAL ID:201702277177547021   整理番号:17A0511409

YAlO3(001)基板上のCr2O3薄膜の結晶成長

Crystal Growth of Cr2O3 Thin Films on YAlO3(001) Substrate
著者 (7件):
資料名:
巻: 42  号:ページ: 5-7(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: L4468A  ISSN: 1382-3469  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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Cr2O3薄膜を5Mと12M NaOH溶液でエッチングされたYAlO3(YAO)(001)基板上に製造した。12MのNaOH溶液でエッチングした後,YAO表面は段差高さを1単位とする段差テラス構造を示した。5M,12MでエッチングしたYAO及びrカットしたサファイア基板上に成長したCr2O3薄膜の表面形態はほとんど類似していたが,YAOの結晶構造は斜方晶であった。Cr2O3薄膜の一つの結晶粒に着目すると,表面は,約0.36nmのほぼ単位段差で二次元的に平坦であった。Cr2O3膜は,Cr2O3±[110]∥YAO[100],Cr2O3±[111]∥YAO[010],二重信号対応,Cr2O3(1102)∥YAO(001)の関係でエピタクシー成長した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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