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J-GLOBAL ID：201702277853845580   整理番号：17A0451440

スパッタ超薄蒸着した多孔質非晶質Al_2O_3膜の機械的挙動【Powered by NICT】

Mechanical behavior of ultrathin sputter deposited porous amorphous Al₂O₃ films

著者 (10件)： van der Rest Astrid (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Idrissi Hosni (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Idrissi Hosni (EMAT, University of Antwerp, Groenenborgerlaan 171, B-2020, Antwerp, Belgium) ,  Henry Frederic (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Favache Audrey (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Schryvers Dominique (EMAT, University of Antwerp, Groenenborgerlaan 171, B-2020, Antwerp, Belgium) ,  Proost Joris (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Raskin Jean-Pierre (Institute of Information and Communication Technologies, Electronics and Applied Mathematics (ICTEAM), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Van Overmeere Quentin (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium) ,  Pardoen Thomas (Institute of Mechanics, Materials and Civil Engineering (iMMC), Universite catholique de Louvain, B-1348, Louvain-la-Neuve, Belgium)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 125  ページ： 27-37  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多孔質非晶質Al_2O_3薄膜の機械的性質の決定である耐摩耗性,光学的および電子的コーティング応用における信頼性問題に対処するために必須である。200nmより薄いAl_2O_3膜の機械的性質を試験することは困難であり,機械的挙動とそのような膜の微細構造はほとんど知られていない。ここでは,音材料の応答の固有の変動からの空隙率の影響を分離するために内部応力,ナノインデンテーション,およびオンチップ単軸引張試験の組み合わせ,機械的均質化モデルを用いた反応性マグネトロンスパッタリングにより合成した非晶質Al_2O_3薄膜の弾性と粘塑性機械的性質について報告した。空隙率は2 30nm直径を持つボイドで構成されている。膜のYoung率と硬度は二の要素によって減少する堆積圧力は1.2~8mTorr増加する。空隙率の寄与は小さいことが分かった,非晶質Al_2O_3母材の原子構造の変化が主要な寄与因子であると仮定した。粘塑性変形機構に関連した活性化体積は~3約100Åであった。膜の原子構造の差異を電子線回折で明らかにした,弾性的性質に及ぼす原子配列の効果を示すことができなかった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 硬度 ,  引張試験 ,  *多孔性 ,  弾性 ,  内部応力 ,  原子構造 ,  *非晶質 ,  粘塑性 ,  ナノインデンテーション ,  耐摩耗性 ,  均質化 ,  Young率 ,  一軸 ,  空隙率
準シソーラス用語： 変形機構 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 非晶質アルミナ ,  薄膜 ,  機械的性質 ,  Porosity ,  ナノインデンテーション

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  蒸着 ,  多孔質 ,  非晶質 ,  機械的挙動