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J-GLOBAL ID：201702278322324744   整理番号：17A0154410

電気化学的手法を用いたGaN多孔質構造の選択領域形成

著者 (3件)： 松本悟 (北大 量集セ) ,  熊崎祐介 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会北海道支部/日本光学会北海道支部合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道支部講演予稿集)
巻： 52nd-13th  ページ： 8  発行年： 2017年01月07日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *窒化ガリウム ,  *多孔質体 ,  化学蒸着 ,  スパッタ蒸着 ,  二酸化ケイ素 ,  酸化アルミニウム ,  *フォトリソグラフィー ,  *ウェットエッチング ,  パターン形成 ,  電子顕微鏡観察 ,  保護膜 ,  *電解合成 ,  走査電子顕微鏡法
準シソーラス用語： 多孔質構造 ,  ALD【蒸着】 ,  走査電子顕微鏡観察

分類 (1件)： 電気化学反応  (CB07050F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気化学 ,  手法 ,  GaN ,  多孔質構造