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J-GLOBAL ID：201702279437271673   整理番号：17A0055477

NiOとTiO_2薄膜に基づいた単一および混合金属酸化物のキャラクタリゼーションとガスセンサ試験【Powered by NICT】

Characterization and gas sensor testing of single and mixed metal oxides based on NiO and TiO₂ thin films

著者 (5件)： Hotovy I. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Predanocy M. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Mikolasek M. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Benko P. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Rehacek V. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： ASDAM  ページ： 161-164  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1000ppmの水素を検出し,200°Cで動作できるNiOとTiO_2薄膜に基づく単一及び混合金属酸化物に関する結果を示した。50~100nmの範囲の厚さを有するこれらの膜は,アルミナおよびシリコン基板上にDC反応性マグネトロンスパッタリングにより作製した。XRD測定は,600°Cでアニールした薄膜の多結晶性を明らかにしたが,堆積したままの試料は非晶質であることを確認した。NiO/TiO_2/Siに基づくセンサ構造は150°Cの非常に低い動作温度で水素に対する応答は,単一酸化物から調製したものと比較して相対的に低い感度が現れた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  水素 ,  X線回折 ,  *金属酸化物 ,  アルミナ ,  多結晶 ,  *キャラクタリゼーション ,  *酸化物 ,  非晶質 ,  *ガスセンサ ,  *薄膜 ,  反応性マグネトロンスパッタリング ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： 動作温度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： NiO ,  薄膜 ,  混合金属酸化物 ,  キャラクタリゼーション ,  ガスセンサ ,  試験