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J-GLOBAL ID：201702281335339325   整理番号：17A0363260

レーザマイクロマシニングツールのためのオンマシン誤差較正法【Powered by NICT】

An on-machine error calibration method for a laser micromachining tool

著者 (4件)： Chen Jian-xiong (School of Mechanical Engineering and Automation, Fuzhou University, Fuzhou, Fujian, PR China) ,  Lin Shu-wen (School of Mechanical Engineering and Automation, Fuzhou University, Fuzhou, Fujian, PR China) ,  Zhou Xiao-long (College of Computer Science and Technology, Zhejiang University of Technology, Hangzhou, Zhejiang, PR China) ,  Tu Yi-liu (Department of Mechanical and Manufacturing Engineering, University of Calgary, Calgary, Alberta, Canada)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 47  ページ： 239-248  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,誤差のモデリングと測定をカバーするオンマシン誤差キャリブレーション法をフェムト秒レーザを用いたマイクロマシンマシニングセンターに設置した機械的および光学システムに起因する誤差を評価し,補償するために提案した。ダイシングシリコンウエハによる予備試験により,角型比,レーザビームマスク合わせミスと焦点位置オフセット,マイクロマシニングの不正確さをもたらすことが主な原因であることを明らかにした。,作業空間における誤差分布を評価するために提案した誤差モデリング法と,今後,Z軸の直角度誤差を組み合わせたレーザビームマスク合わせミスの,レーザビームの包括的誤差ベクトルは変数置換法により発生させた。続いて,瞬間局所座標の増加誤差モデルをレーザ工作機械に一般的に使用される計画法の要求を満足するために確立した。さらに,一連のホールと溝のフェムト秒レーザマイクロマシニング中心に加工した提案した方法とモデルを検証した。直径を含む加工寸法,距離と角度は,提案した誤差モデルによる直角度誤差,レーザビームマスク合わせミスと焦点位置オフセットを同定するためにオンマシン測定した。最後に,実験結果は,非補償試験と比較して,加工精度を提案した方法で有意に改善していたことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： フェムト秒 ,  *マイクロマシニング ,  フェムト秒レーザ ,  作業空間 ,  *レーザ ,  レーザビーム ,  工作機械 ,  オフセット ,  工作精度 ,  ベクトル ,  モデリング
準シソーラス用語： オンマシン計測 ,  *レーザーマイクロマシニング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 幾何学的誤差 ,  フェムト秒レーザ ,  オンマシン測定 ,  誤差補償

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (2件)： 誤差 ,  較正