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J-GLOBAL ID：201702282292418482   整理番号：17A0409501

密封空洞を有するMEMS静電容量型圧力センサの高速解析的設計【Powered by NICT】

Fast analytical design of MEMS capacitive pressure sensors with sealed cavities

著者 (7件)： Rochus V. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Wang B. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Tilmans H.A.C. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Ray Chaudhuri A. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Helin P. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Severi S. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Rottenberg X. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium)
資料名： Mechatronics  (Mechatronics)
巻： 40  ページ： 244-250  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0098A  ISSN： 0957-4158  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,密閉空洞を有するMEMS静電容量型圧力センサのための高速設計戦略を提示した。円形Kirchhoff-Love板理論と完全気体則に基づいて,基礎となる解析モデルをセンサの感度,密閉した空洞に適用した基準圧力の関数としてそれらの設計を改善するための重要での迅速で正確な評価を可能にする。新モデルの精度は,より計算的に高価なシミュレーション技術(高次パラメトリック要素と三次元有限要素モデル)とimecで開発されたポリSiGeプラットフォームを用いて作製した300μm径の膜で行った実験測定との予測を比較することによって実証した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *高速度 ,  解析モデル ,  *静電容量 ,  *センサ ,  *圧力センサ ,  *迅速分析 ,  理想気体 ,  *MEMS
準シソーラス用語： シリコンゲルマニウム ,  三次元有限要素モデル ,  板理論 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 容量性圧力センサ ,  MEMS ,  解析的表現 ,  密封空洞

分類 (2件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 密封 ,  空洞 ,  MEMS ,  静電容量 ,  圧力センサ ,  高速解析 ,  設計