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J-GLOBAL ID：201702283867664279   整理番号：17A0445458

パルスエキシマレーザ蒸着したDLC:Ag膜の微細構造とナノ機械的性質:強化されたナノトライボロジー応答【Powered by NICT】

Microstructure and nanomechanical properties of pulsed excimer laser deposited DLC:Ag films: Enhanced nanotribological response

著者 (14件)： Constantinou M. (Department of Mechanical Engineering and Materials Science and Engineering, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Constantinou M. (Research Unit for Nanostructured Materials Systems, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Pervolaraki M. (Department of Mechanical and Manufacturing Engineering, University of Cyprus, 75 Kallipoleos Av., P.O. Box 20537, 1678 Nicosia, Cyprus) ,  Pervolaraki M. (Nanotechnology Research Center, University of Cyprus, 75 Kallipoleos Av., PO Box 20537, 1678 Nicosia, Cyprus) ,  Nikolaou P. (Department of Mechanical Engineering and Materials Science and Engineering, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Nikolaou P. (Research Unit for Nanostructured Materials Systems, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Prouskas C. (Department of Materials Science and Engineering, University of Ioannina, GR-45110 Ioannina, Greece) ,  Patsalas P. (Department of Physics, Aristotle University of Thessaloniki, GR-54124 Thessaloniki, Greece) ,  Kelires P. (Department of Mechanical Engineering and Materials Science and Engineering, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Kelires P. (Research Unit for Nanostructured Materials Systems, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Giapintzakis J. (Department of Mechanical and Manufacturing Engineering, University of Cyprus, 75 Kallipoleos Av., P.O. Box 20537, 1678 Nicosia, Cyprus) ,  Giapintzakis J. (Nanotechnology Research Center, University of Cyprus, 75 Kallipoleos Av., PO Box 20537, 1678 Nicosia, Cyprus) ,  Constantinides G. (Department of Mechanical Engineering and Materials Science and Engineering, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus) ,  Constantinides G. (Research Unit for Nanostructured Materials Systems, Cyprus University of Technology, 3041 Lemesos, Cyprus)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 309  ページ： 320-330  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属含有量16.8at.%,ダイヤモンド状炭素:銀(DLC:Ag)薄膜を,パルスエキシマレーザ蒸着を用いてシリコン基板上に堆積した;作製したDLC:Ag膜は最も高いAg含有量(16.8at.%)に対してもDLCマトリックス中にかなり.~3含有量(36%)を維持し,以前の報告とは対照的であった。膜の形態学的,トポグラフィー的,結晶学的,組成的および機械的/トライボロジー特性を走査電子顕微鏡(SEM),原子間力顕微鏡(A FM),X線回折(XRD),X線光電子分光法(XPS)及びナノインデンテーション/ナノ引掻き試験を用いて研究した。炭素と銀間の相溶性が,銀含有量と逆スケール還元弾性率と硬さを示すナノ複合材料をもたらした。機械的容量減少はソフト/コンプライアント銀相の取込と非晶質炭素マトリックスの黒鉛化に起因し,XPSで定量化された。が,この機械的軟化応答は,増加した延性および強化された摩擦力学的応答(膜破壊における臨界負荷量の70%の増加)と結合し,このクラスの保護被覆および他の機能性応用のための大きな関心のDLC金属ナノ複合材料をしている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  ナノ複合材料 ,  ナノインデンテーション ,  モルフォロジー ,  摩擦力 ,  *銀 ,  原子間力顕微鏡 ,  引かき試験 ,  黒鉛化 ,  炭素 ,  *レーザ蒸着 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： トライボロジー特性 ,  シリコンウエハ ,  *ナノトライボロジー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ダイヤモンド状炭素膜 ,  ナノ複合材料 ,  ナノ力学 ,  ナノトライボロジー

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (10件)： パルス ,  エキシマレーザ ,  蒸着 ,  DLC ,  Ag ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  強化 ,  ナノトライボロジー ,  応答