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J-GLOBAL ID：201702284114757262   整理番号：17A0218958

エタノール検出用CMOS MEMSプラットフォーム上へのAu-SnO₂ナノ複合材料のマスクレス堆積

Mask-less deposition of Au-SnO₂ nanocomposites on CMOS MEMS platform for ethanol detection

著者 (10件)： SANTRA S (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  SINHA A K (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  DE LUCA A (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR) ,  ALI S Z (Cambridge CMOS Sensors Ltd, Cambridge, GBR) ,  UDREA F (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR) ,  UDREA F (Cambridge CMOS Sensors Ltd, Cambridge, GBR) ,  GUHA P K (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  RAY S K (Indian Inst. of Technol., Kharagpur, IND) ,  GARDNER J W (Cambridge CMOS Sensors Ltd, Cambridge, GBR) ,  GARDNER J W (Univ. Warwick, Coventry, GBR)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 27  号： 12  ページ： 125502,1-9  発行年： 2016年03月29日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブミクロンの位置決め能力を持つ原子間力顕微鏡(AFM)タイプの片持ち梁により,明確な区域に材料を堆積できるマスクレス堆積技術であるディップペンナノリソグラフィー(DPN)を用いて,金酸化スズナノ複合材料を,首尾よく絶縁体上シリコン(SOI)相補型金属酸化物半導体(CMOS)マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)基板上に集積した。このセンシング材料は,SEM,TEM,XRD及びUV-可視技術により特性評価した。SEMとTEMにより,このナノ複合材料はナノ粒子とナノワイヤでできており,XRDとUV-可視測定により,センシング材料中に結晶性金ナノ粒子が存在することを見出した。この素子はDCモードでは450°Cで動作して55mWしか消費せず,電気-熱変換効率が高いことを証拠付けた。エタノール,トルエン,及びアセトンに曝すと,100から1000ppmの濃度範囲で1.2及び0.27ppm^-1の間で変わる感度で,エタノールに対する選択性を示した。関連する化学的検知機構の徹底分析を行い,Au-SnO₂ナノ複合材料といろいろな分子化学種(エタノール,トルエン,アセトン及び水)間の反応を定式化した。DPN堆積したAu-SnO₂ナノ複合材料を用いたエタノールセンサはスマートホン,タブレット,及び装着型素子に広く応用されるであろう。

シソーラス用語： *化学センサ ,  CMOS ,  *MEMS ,  *金 ,  *酸化スズ ,  *ナノ複合材料 ,  ナノ粒子 ,  SOI構造 ,  選択性 ,  *リソグラフィー ,  紫外可視吸収スペクトル ,  *表面プラズモン ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： エタノールセンサ ,  *二酸化スズ ,  金ナノ粒子 ,  *ディップペンナノリソグラフィー

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S) ,  固体プラズマ  (BM02160W)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (8件)： エタノール ,  CMOS ,  MEMS ,  プラットフォーム ,  Au ,  ナノ複合材料 ,  マスクレス ,  堆積