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J-GLOBAL ID：201702285343430733   整理番号：17A0363256

超精密Abbeコンプライアント線形エンコーダベース位置測定システムの設計と実験的検証【Powered by NICT】

Design and experimental validation of an ultra-precision Abbe-compliant linear encoder-based position measurement system

著者 (3件)： Bosmans Niels (KU Leuven, Department of Mechanical Engineering, Division PMA, Celestijnenlaan 300B, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Qian Jun (KU Leuven, Department of Mechanical Engineering, Division PMA, Celestijnenlaan 300B, 3001 Heverlee, Belgium) ,  Reynaerts Dominiek (KU Leuven, Department of Mechanical Engineering, Division PMA, Celestijnenlaan 300B, 3001 Heverlee, Belgium)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 47  ページ： 197-211  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 工作機械と座標測定機(CMM)における標的20nm不確実性(k=2)と位置測定のためのAbbeコンプライアント線形エンコーダ測定システムの設計と開発を提示した。線形スケールと容量センサ,スケールの測定方向の導波と静電容量センサの出力信号に基づくリニアモータによって駆動される界面オンラインに搭載から構成されている。容量性センサは,工作物テーブル上のターゲット表面の変位を測定した。この配置はAbbe原理に準拠するように,工具またはタッチプローブの中心である,機能的点は常にスケールと静電容量センサと対比される。熱安定性は後者の先端でのスケールと容量性センサ間の熱中心,ドリフトする両成分防ぐの応用によって達成される。この概念に基づいて,1自由度測定システムのプロトタイプを120mmの測定範囲のために開発された,±0.5°Cと±5%rhの環境条件と短期間でのターゲット表面の追跡中に再現性を変化させるためのシステムの再現性を検証することを目的とした実験装置であった。これらの実験は,1自由度システムの測定不確実性は95%信頼レベルを有し,29nm以下であることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 座標測定機 ,  熱安定性 ,  *計測システム ,  再現性 ,  不確実性 ,  自由度 ,  センサ ,  *位置測定 ,  プロトタイプ ,  リニアモータ ,  工作物 ,  *符号器 ,  *線形性
準シソーラス用語： 測定の不確かさ ,  静電容量センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (9件)： Abbe原理 ,  線形エンコーダ ,  超精密 ,  計測 ,  熱誤差 ,  不確実性 ,  メカトロニクス ,  工作機械 ,  座標測定機(CMM)

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超精密 ,  線形エンコーダ ,  位置測定システム ,  設計 ,  実験 ,  検証