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J-GLOBAL ID：201702285859240187   整理番号：17A0576889

白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発(第4報) 純水中でのZnO単結晶の局所電気化学エッチング

著者 (5件)： 山本紘太 (豊橋技科大) ,  古川有里乃 (豊橋技科大) ,  笹野順司 (豊橋技科大) ,  永井萌土 (豊橋技科大) ,  柴田隆行 (豊橋技科大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.N34  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,加工対象である固体表面と雰囲気物質(液体)の化学反応を触媒によって促進し,かつ当該反応をナノ空間内に制御することで,位置選択的な材料除去(化学エッチング)を実現するナノ加工技術の開発を目的としている。本報では,Pt触媒を被覆した原子間力顕微鏡(AFM)プローブを用いた水中でのZnO単結晶の電気化学的除去加工の可能性を検討した。電圧印加効果の影響を調査し,加工メカニズムを考察した。(著者抄録)

シソーラス用語： 原子間力顕微鏡 ,  プローブ ,  白金触媒 ,  *ナノテクノロジー ,  化学 ,  純水 ,  酸化亜鉛 ,  単結晶 ,  *エッチング ,  電気化学

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (1件)：

• 山本紘太ほか,2016年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集,229-230 (2016).

タイトルに関連する用語 (9件)： 白金触媒 ,  AFM ,  プローブ ,  ナノ化学 ,  開発 ,  水中 ,  ZnO ,  単結晶 ,  電気化学エッチング