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J-GLOBAL ID：201702288716075909   整理番号：17A0450135

化学溶液堆積により作製したPbTiO_3薄膜の信頼性に及ぼす結晶化温度の影響【Powered by NICT】

The influence of the crystallization temperature on the reliability of PbTiO₃ thin films prepared by chemical solution deposition

著者 (6件)： Ali H. El Hosiny (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, CSIC, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Ali H. El Hosiny (Physics Department, Faculty of Science, Zagazig University, 44519 Zagazig, Egypt) ,  Ricote J. (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, CSIC, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Calzada M.L. (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, CSIC, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Bretos I. (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, CSIC, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Jimenez R. (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, CSIC, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 37  号： 4  ページ： 1449-1458  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 可能な限り低い温度その官能的な特性を維持するにおける品質強誘電PbTiO_3(PT)薄膜の作製は,マイクロデバイスにおけるそれらの統合が必要である。結晶化以下,近い以上PbTiO_3のパラ強誘電転移温度は膜の微細構造,集合組織と残留応力状態と機能的性質に重要な影響を生産しなければならない。本論文では,化学溶液堆積法は,常誘電相転移強誘電体の約種々の温度でPbTiO_3膜を調製するために使用した。膜をX線回折,光学および走査型電子顕微鏡法,およびそれらのミクロ組織,集合組織および残留応力それらの機能的性質と相関により解析した。結果は相転移に近いか以下の結晶化温度で調製したこれらのPT膜は高い残留分極と飽和分極値をもたらす好ましいミクロ組織と集合組織を開発し,マイクロデバイスにおけるそれらの統合のための良い候補であることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *薄膜 ,  強誘電体 ,  集合組織 ,  X線回折 ,  *結晶化 ,  残留応力 ,  *晶出温度 ,  誘電転移 ,  相転移 ,  残留分極
準シソーラス用語： 飽和分極 ,  走査電子顕微鏡法 ,  マイクロデバイス ,  *化学溶液堆積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  Ferroelectrics ,  低温処理 ,  テクスチャ ,  応力緩和

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学溶液堆積 ,  作製 ,  薄膜 ,  結晶化温度