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J-GLOBAL ID:201702289108337026   整理番号:17A0118668

二重量子化電気機械的シグマ-デルタ変調器振動ホイールジャイロスコープ【Powered by NICT】

A dual quantization electromechanical sigma-delta modulator vibratory wheel gyroscope
著者 (6件):
資料名:
巻: 2016  号: SENSORS  ページ: 1-3  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,二重量子化法に基づく高性能左右軸容量性電気機械的シグマ-デルタ変調器振動性ホイール・ジャイロスコープを提案した。対称性ホイール・ジャイロスコープ構造を作製し,ウエハレベル真空下で包装した(WLP)であった。電気機械的シグマ-デルタ変調器ループは4~次多重フィードバックと局所共振器のシグマ-デルタ変調器雑音整形構造を採用し,単一変調器における多重量子化の減少した量子化誤差を利用した。回路方式は,フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)技術に基づくハードウェアに実装した。測定結果はスケール因子と非線形性は2073LSB/°/sと0.09%であったことを示した。ノイズフロアは100Hz帯域幅内で3.8m°/s/V Hzであり,バイアス不安定性は1.259°/時間である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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集積回路一般  ,  半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (5件):
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