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J-GLOBAL ID：201702289191542997   整理番号：17A0534293

MEMS加速度計の非線形解析と最適化のための方法を提案した。【JST・京大機械翻訳】

Analysis and optimization on nonlinearity of large-range closed-loop MEMS accelerometer

著者 (6件)： Xiao Peng (School of Automation, Northwestern Polytechnical University) ,  Sun Guoliang (Flight Automatic Control Research Institute) ,  Liu Lin (School of Automation, Northwestern Polytechnical University) ,  Wang Xiaobin (Flight Automatic Control Research Institute) ,  Sun Junjie (Flight Automatic Control Research Institute) ,  Yu Caijia (Flight Automatic Control Research Institute)
資料名： Zhongguo Guanxing Jishu Xuebao  (Zhongguo Guanxing Jishu Xuebao)
巻： 24  号： 6  ページ： 803-808  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2764A  ISSN： 1005-6734  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 2つの誤差によって引き起こされる加速度計の非線形数学モデルを,質量加速度の非平衡によって生成される加速度計の非線形性を研究するために開発した。ANSYSとSIMULINKソフトウェアを用いて,センサの構造とシステムのシミュレーションを行い,このモデルの正しさと非線形性を最適化した。最後に,上記の解析に従ってプロトタイプ製作と遠心試験を行った。実験結果により,±150Gの範囲の加速度計の非線形性は,QiaoQiao板Bai式×10(-2)から5.320×10(-3)に減少し,そして,質量バランスの偏差は,さらに,加速度計の非線形性は2.772×10(-3)に減少した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プロトタイピング ,  *加速度 ,  ソフトウェア ,  *非線形解析 ,  物質収支 ,  非平衡状態 ,  *最適化 ,  非線形性 ,  *MEMS ,  センサ ,  数学モデル ,  *加速度計
準シソーラス用語： Simulink ,  ANSYS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： large range ,  MEMS accelerometer ,  nonlinearity ,  translation motion ,  closed loop equilibrium position

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  加速度計 ,  非線形解析 ,  最適化 ,  提案