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J-GLOBAL ID：201702289319011979   整理番号：17A0662076

マクロ-ミクロ複合材料精密位置決めステージのための迅速振動低減法【Powered by NICT】

A Rapid Vibration Reduction Method for Macro-Micro Composite Precision Positioning Stage

著者 (7件)： Zhang Lanyu (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control Technology of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Gao Jian (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control, Technology of the Ministry of Education and the Guangdong Provincial Key Laboratory of Computer Integrated Manufacturing, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Xin (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control, Technology of the Ministry of Education and the Guangdong Provincial Key Laboratory of Computer Integrated Manufacturing, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Tang Hui (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control Technology of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Yun (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control Technology of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  He Yunbo (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control Technology of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China) ,  Yang Zhijun (Key Laboratory of Mechanical Equipment Manufacturing and Control Technology of the Ministry of Education, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 64  号： 1  ページ： 401-411  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 主として高速化,高精度化,大ストローク位置決めを達成するためにマイクロエレクトロニクス製造で使用されているマクロ マイクロ複合材料精密位置決めステージ。ステージの位置決め精度と作業効率は,高加速運動による慣性振動に影響された。本論文では,設計されたマクロ-マイクロ運動ステージのための圧電素子を用いたアクティブ振動低減(AVR)法を提案した。ステージの設計モデルを確立し,その動的モデルを調べた。設計した位置決めステージのための振動ダンパとして圧電素子の実現可能性を理論的解析により実証した,固有振動数解析と慣性振動エネルギー分析を含む。,AVR機構と段階の最適設計を確立し,実験的に検証した。AVR法の性能は,AVRなしに慣性振動エネルギーの差の調査を通して調べ,特徴づけられ,振動振幅と位置決め時間の観点から提案した方法の性能を異なる加速度,速度,ストロークで測定した。理論と実験分析は提案した振動低減手法の有効性を示し,この方法は振動低減を必要とするいくつかの応用に用いることができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 圧電素子 ,  高速化 ,  固有振動数 ,  *複合材料 ,  加速度 ,  ダイナミックモデル ,  *位置決め ,  最適設計 ,  *防振 ,  ダンパ ,  マイクロエレクトロニクス ,  振動振幅
準シソーラス用語： 慣性振動 ,  位置決め精度 ,  *精密位置決め , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電動機  (NB07030U) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (5件)： マクロ ,  複合材料 ,  精密位置決め ,  ステージ ,  振動低減