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J-GLOBAL ID：201702289403761919   整理番号：17A0538564

高精度表面検査のための平坦なプラズモニック光を用いたNewtonリングの再検討【Powered by NICT】

Revisiting Newton’s rings with a plasmonic optical flat for high-accuracy surface inspection

著者 (8件)： Zheng Yun (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University) ,  Bian Jie (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University) ,  Wang Xiaolong (Nanophotonics and Metrology Laboratory, Swiss Federal Institute of Technology Lausanne (EPFL)) ,  Liu Juxiu (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University) ,  Feng Peng (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University) ,  Ge Haixiong (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University) ,  Martin Olivier Jf (Nanophotonics and Metrology Laboratory, Swiss Federal Institute of Technology Lausanne (EPFL)) ,  Zhang Weihua (College of Engineering and Applied Sciences, Nanjing University)
資料名： Guang: Kexue Yu Yingyong  (Guang: Kexue Yu Yingyong)
巻： 5  号： 4  ページ： e16156-1-e16156-6  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2855A  ISSN： 2095-5545  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二並列光学表面はしばしば光の干渉のために等しい厚さの線に沿ってカラフルな干渉縞を示した。このシンプルな現象は,平坦な参照誘電体表面,いわゆる光をその上に置くと,得られた干渉パターンを検査するだけで反射面上のサブ波長波形を観察することを可能にする。本研究では,誘電体表面からこの原理を拡張二次元プラズモンナノ構造。AuナノディスクアレイとAu薄膜との間の光結合を二つの異なる技術,すなわち,古典的なNewtonリング法と閉ループナノ位置決めシステムを用いて定量的に測定した。表面間距離に非常に高いスペクトル感度は近接場結合領域で観察された,距離の1nmの変化はほぼ10nm,近接場結合のない場合の変化よりも440倍大きいによる共鳴波長を変化させることができた。数値フィッティング法の助けを借りて,共鳴波長は0.03nmの精度で決定し,0.003nmの距離精度に対応することができた。この効果を利用して,著者らは,プラズモンナノディスクアレイはプラズモンオプチカルフラット,ナノメートル深い溝を直接低コスト顕微鏡を用いて可視化できるとして利用できることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光干渉 ,  反射面 ,  ナノ構造 ,  干渉縞 ,  金 ,  分光感度 ,  二次元 ,  波長 ,  近接場 ,  *プラズモン ,  サブ波長
準シソーラス用語： 光結合 ,  干渉パターン ,  *Newtonリング ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 近接場光学結合 ,  オプチカルフラット ,  プラズモニクス

分類 (2件)： 光の散乱,回折,干渉  (BD03030M) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面検査 ,  Newtonリング