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J-GLOBAL ID：201702290026320366   整理番号：17A0443940

10nm厚金膜の抵抗と熱膨張係数の温度係数【Powered by NICT】

Temperature coefficient of resistance and thermal expansion coefficient of 10-nm thick gold films

著者 (6件)： Oliva A.I. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del IPN Unidad Merida. Departamento de Fisica Aplicada. Km. 6 Antigua Carretera a Progreso, A.P. 73-Cordemex CP 97310, Merida, Yucatan, Mexico) ,  Lugo J.M. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del IPN Unidad Merida. Departamento de Fisica Aplicada. Km. 6 Antigua Carretera a Progreso, A.P. 73-Cordemex CP 97310, Merida, Yucatan, Mexico) ,  Gurubel-Gonzalez R.A. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del IPN Unidad Merida. Departamento de Fisica Aplicada. Km. 6 Antigua Carretera a Progreso, A.P. 73-Cordemex CP 97310, Merida, Yucatan, Mexico) ,  Centeno R.J. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del IPN Unidad Merida. Departamento de Fisica Aplicada. Km. 6 Antigua Carretera a Progreso, A.P. 73-Cordemex CP 97310, Merida, Yucatan, Mexico) ,  Corona J.E. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados del IPN Unidad Merida. Departamento de Fisica Aplicada. Km. 6 Antigua Carretera a Progreso, A.P. 73-Cordemex CP 97310, Merida, Yucatan, Mexico) ,  Aviles F. (Centro de Investigacion Cientifica de Yucatan, Unidad de Materiales. Calle 43 No. 130 x 32 y 34, Col. Chuburna de Hidalgo. CP 97205, Merida, Yucatan, Mexico)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 623  ページ： 84-89  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膜/基板系におけるナノメータ範囲の厚さを有する金属膜の抵抗(α)と熱膨張係数(α)の温度係数を同時に推定する方法を検討した。熱抵抗率と室内条件で得られた実験データからの金属膜のαとα_を推定するための圧電抵抗効果を考慮した解析モデルを提案した。方法論は最初にバルクに近い値を100nm厚Au膜を用いて検証し,報告されている値に信頼性を与えた。提案した方法は,二基板上に三蒸着速度での熱蒸発により蒸着した10nm厚さのAu膜のαとα_を得るために用いた。結果は10nm厚さのAu膜のα_は以前の報告よりも類似した値を示すことを示した,一方α_は対応するバルクの値よりも5~6倍高かった。膜蒸着中の原子の配列はこのような熱的パラメータのほんのわずかな変化を生じた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 金属薄膜 ,  解析モデル ,  *熱膨張係数 ,  *金 ,  熱抵抗 ,  信頼性 ,  *温度係数 ,  蒸着 ,  蒸発
準シソーラス用語： 蒸着速度 ,  圧電抵抗 ,  屋内 ,  ナノメータ ,  *金膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 熱膨張係数 ,  抵抗の温度係数 ,  金 ,  薄膜

分類 (3件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 厚 ,  金膜 ,  熱膨張係数 ,  温度係数