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J-GLOBAL ID：201702290632051134   整理番号：17A0729815

酸素圧力とZNO薄膜の発光特性との関係を調べた。【JST・京大機械翻訳】

Effects of Oxygen Pressure on Optical Properties of ZnO Thin Films

著者 (2件)： WANG Zhao-yang (School of Science, Shenyang Institute of Aeronautical Engineering) ,  HU Li-zhong (School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology)
資料名： Bandaoti Guangdian  (Bandaoti Guangdian)
巻： 30  号： 4  ページ： 574-577  発行年： 2009年08月 
JST資料番号： C2379A  ISSN： 1001-5868  CODEN： BAGUE5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ZNO薄膜を,異なる環境酸素圧力下でパルスレーザ蒸着法によりSI(111)基板上に成長させ,325NMのHE-CDレーザにより励起し,その発光特性を調べた。X線回折(XRD)と原子間力顕微鏡(AFM)を用いて、薄膜の結晶構造と表面形態を研究した結果、酸素圧力が20PAと50PAの間に調製したZNO薄膜は良好な紫外線発光特性と良好な結晶品質を有することが分かった。ZNO薄膜の発光機構を分析し,薄膜の発光機構は自由励起子の複合発光に由来し,ピークの発光機構はO_(ZN)と密接に関係し,酸素空孔は青色発光の重要な原因であることがわかった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： パルスレーザ蒸着 ,  結晶構造 ,  *発光 ,  レーザ ,  *薄膜 ,  X線回折 ,  紫外線 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 青色発光 ,  酸素空格子点 ,  自由励起子 ,  結晶品質 ,  表面形態 ,  *発光特性 ,  *酸素分圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ZnO thin film ,  oxygen pressure ,  optical properties ,  optical mechanism

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 酸素圧 ,  ZnO薄膜 ,  発光特性