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J-GLOBAL ID：201702291199781087   整理番号：17A0318999

微細構造,DC及びRFマグネトロン同時スパッタリングにより蒸着した亜鉛酸化カドミウム膜の光学的および電気的特性に対するポストアニーリング雰囲気の影響【Powered by NICT】

Influence of post-annealing atmosphere on microstructure, optical and electrical properties of zinc cadmium oxide films deposited by DC and RF magnetron co-sputtering

著者 (8件)： Sui Y.R. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China) ,  Song Y.P. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China) ,  Wu Y.J. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China) ,  Lang J.H. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China) ,  Meng X.W. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China) ,  Lv S.Q. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China) ,  Yao B. (State Key Laboratory of Superhard Materials and College of Physics, Jilin University, Changchun 130023, China) ,  Yang J.H. (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping 136000, Jilin, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 14  ページ： 15166-15170  発行年： 2016年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 亜鉛カドミウム酸化物(Zn_1 xCd_xO)膜を直流(DC)と無線周波数(RF)反応性マグネトロン同時スパッタリングにより石英基板上に堆積し,その微細構造,光学的および電気的性質に及ぼすポストアニーリング雰囲気の影響を,X線回折(XRD),光吸収,光ルミネセンス(PL)およびHall測定により調べた。結果は,異なる雰囲気でアニールした全てのZn_1 xCd_xO膜のバンドギャップ(E_g)は非ドープZnO,アルゴン,酸素と真空中でアニールしたZn_1 xCd_xO膜E_g0.43,0.37と0.32eVで観測されたシフト,それぞれのそれよりも小さいことを示した。Hall測定の結果は,異なる雰囲気でアニールした全てのZn_1 xCd_xO膜はn型伝導を示すことが分かったが,真空中でアニールしたZn_1 xCd_xO膜は低い抵抗率と高い濃度,室温抵抗率1.59Ωcm,キャリア濃度2.07×10~17cm~ 3を持つ。酸素とアルゴン中でアニールしたZn_1 xCd_xO膜と比較して,真空中でアニールしたZn_1 xCd_xO膜は最良の結晶品質,ルミネセンス及び電気特性をもっている。Zn_1 xCd_xO膜の電気的および光学的性質に対するポストアニーリングの影響機構を議論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *マグネトロン ,  電気抵抗率 ,  光吸収 ,  酸化亜鉛 ,  キャリア密度 ,  光ルミネセンス ,  アルゴン ,  *亜鉛 ,  バンドギャップ ,  酸素 ,  X線回折 ,  *酸化カドミウム ,  ドーピング
準シソーラス用語： *ポストアニーリング ,  *同時スパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 亜鉛カドミウム酸化物膜 ,  Microstructure ,  光学的および電気的性質 ,  同時スパッタリング ,  ポストアニーリング大気

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (12件)： 微細構造 ,  DC ,  RF ,  マグネトロン ,  同時スパッタリング ,  蒸着 ,  亜鉛 ,  酸化カドミウム ,  光学 ,  電気的特性 ,  ポストアニーリング ,  雰囲気