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J-GLOBAL ID：201702291961395855   整理番号：17A0124040

加工回折格子のための反射防止コーティングの改良法により増強された近接場ホログラフィー【Powered by NICT】

Near-field holography enhanced with antireflection coatings-an improved method for fabricating diffraction gratings

著者 (11件)： Li Yuanfang (University of Science and Technology of China) ,  Chen Huoyao (University of Science and Technology of China) ,  Kroker Stefanie (Institut fiir Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universitat Jena) ,  Kasebier Thomas (Institut fiir Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universitat Jena) ,  Liu Zhengkun (University of Science and Technology of China) ,  Qiu Keqiang (University of Science and Technology of China) ,  Liu Ying (University of Science and Technology of China) ,  Kley Ernst Bernhard (Institut fiir Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universitat Jena) ,  Xu Xiangdong (University of Science and Technology of China) ,  Hong Yilin (University of Science and Technology of China) ,  Fu Shaojun (University of Science and Technology of China)
資料名： Zhongguo Guangxue Kuaibao(Yingwenban)  (Zhongguo Guangxue Kuaibao(Yingwenban))
巻： 14  号： 9  ページ： 090501-01-090501-05  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2637A  ISSN： 1671-7694  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 正確な臨界寸法と高スループットの利点を持つ,近接場ホログラフィー(NFH)は軟X線回折格子を実現するための大きな可能性を持つ。反射防止コーティング(ARCs)の統合により低減反射とNFHは屈折率液体を用いた装置に比べてNFHプロセスを簡素化することを示した。ARCを提案したNFHに基づいて,金被覆層格子はNFHとそれに続くイオンビームエッチングを用いて作製した。効率角度スペクトルは格子の迷光はNFH中の界面反射の抑制により大きさの1レベルを低下することを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： スペクトル ,  金 ,  *近接場 ,  迷光 ,  軟X線 ,  被覆層 ,  *ホログラフィー ,  界面 ,  屈折率 ,  *回折格子 ,  イオンエッチング ,  簡素化 ,  *反射防止膜
準シソーラス用語： ハイスループット ,  臨界寸法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 回折格子 ,  反射防止コーティング ,  改良法 ,  増強 ,  近接場 ,  ホログラフィー