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J-GLOBAL ID：201702298406965201   整理番号：17A0381645

パラジウムナノ粒子で官能化した選択的に懸垂された炭素ナノワイヤのアレイに基づく高性能水素センサ【Powered by NICT】

High-performance hydrogen sensor based on an array of single suspended carbon nanowires selectively functionalized with palladium nanoparticles

著者 (3件)： Seo Junyoung (Ulsan National Institute of Science and Technology, Ulsan, Korea) ,  Lim Yeongjin (Ulsan National Institute of Science and Technology, Ulsan, Korea) ,  Shin Heungjoo (Ulsan National Institute of Science and Technology, Ulsan, Korea)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1068-1070  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,種々のサイズ(10 50 nm)Pdナノ粒子で修飾した単一懸垂炭素ナノワイヤ(Φ 200nm,長さ~100μm)のアレイに基づく新しい水素センサを報告する;このH2センサは,低消費電力(30 μW)を介した5Sの高感度,広い検出範囲,および完全に回復し室温センシングなどの有利なセンサ性能を示した。これらの高い性能は,懸濁Pdナノ粒子/炭素ナノワイヤ強化された物質移動,体積比に対して高い表面積,そして良好な断熱性を容易にする新しいアーキテクチャにより可能になった。この新規なセンサ基盤は,UVリソグラフィーと熱分解を構成されていることを炭素MEMSを含む単純なバッチ微細加工プロセスを用いて作製することができた。H2センサの感度と検出範囲は,Pdナノ粒子(10~30nmのPdナノ粒子:2.51%/ppm~1/2および10~7,000ppm,30~50nmのPdナノ粒子:0.36%/ppm~1/2および10ppm,5%)の大きさを制御することによって調節することができた。広範囲H2検出のチップ上に種々のPdナノ粒子で修飾したナノワイヤを統合することにより可能にした。さらに,ガス応答は炭素ナノワイヤにおける自己加熱による非常に短い時間(例えば5秒の1,000ppmのH2)中で完全に回復することができた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *炭素 ,  物質移動 ,  *パラジウム ,  MEMS ,  体積率 ,  *ナノ粒子 ,  *ナノワイヤ ,  高感度 ,  表面積 ,  *懸垂 ,  熱分解 ,  微細加工 ,  *センサ
準シソーラス用語： *水素センサ ,  *カーボンナノワイヤ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： パラジウムナノ粒子 ,  官能化 ,  懸垂 ,  炭素ナノワイヤ ,  アレイ ,  高性能 ,  水素センサ