特許
J-GLOBAL ID:201703005214846730

α窒化ケイ素の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 堅田 健史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-252209
公開番号(公開出願番号):特開2017-114727
出願日: 2015年12月24日
公開日(公表日): 2017年06月29日
要約:
【課題】β窒化ケイ素の生成を抑制し、α窒化ケイ素を高い収率で生成することである。【解決手段】α窒化ケイ素の製造方法であって、金属ケイ素と、窒素系反応ガスを用意し、α窒化ケイ素からβ窒化ケイ素に転移するのを抑制するβ化抑制剤を添加し、前記金属ケイ素と、窒素系反応ガスとを直接窒化させ、β窒化ケイ素の生成を抑制しつつ、α窒化ケイ素を得ることを含んでなる、製造方法により達成される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
α窒化ケイ素の製造方法であって、 金属ケイ素と、窒素系反応ガスを用意し、 α窒化ケイ素からβ窒化ケイ素に転移するのを抑制するβ化抑制剤を添加し、 前記金属ケイ素と、窒素系反応ガスとを直接窒化させ、 β窒化ケイ素の生成を抑制しつつ、α窒化ケイ素を得ることを含んでなる、製造方法。
IPC (1件):
C01B 21/068
FI (1件):
C01B21/068 E
引用特許:
審査官引用 (16件)
  • 特表平3-500640
  • 特表平3-500640
  • 特開昭63-170202
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引用文献:
審査官引用 (14件)
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