特許
J-GLOBAL ID：201703007759319241
液中プラズマ処理装置及び液中プラズマ処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人平和国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-054705
公開番号（公開出願番号）：特開2014-180588
特許番号：特許第6202424号
出願日： 2013年03月18日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体中でプラズマを発生させてナノ粒子を生成する液中プラズマ処理装置であって、
前記液体を収めるための容器と、
パルス状マイクロ波電力を出力するマイクロ波発振器と、
一部が前記液体に浸漬されるとともに、前記液体中に前記プラズマを発生させるために、前記マイクロ波発振器から出力された前記パルス状マイクロ波電力を前記液体に与える電極であって、前記プラズマ中で加熱され蒸発して前記ナノ粒子となる材料で形成された電極とを備え、
加熱により前記液体が気化して気泡が発生している状態を維持するように、前記パルス状マイクロ波電力のパルス周波数を500Hz以上とし、
前記気泡が膨張と収縮を繰り返すように、前記パルス状マイクロ波電力のパルス幅をパルス幅変調により周期的に変化させる変調部を備える
ことを特徴とする液中プラズマ処理装置。
IPC (5件)：
B01J 19/08 ( 200 6.01)
, B22F 9/14 ( 200 6.01)
, B82Y 30/00 ( 201 1.01)
, H05H 1/24 ( 200 6.01)
, B82Y 40/00 ( 201 1.01)
B01J 19/08 E
, B22F 9/14 Z
, B01J 19/08 K
, B82Y 30/00
, H05H 1/24
, B82Y 40/00
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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