特許
J-GLOBAL ID:201703007806709720

ガス分析用前処理装置及びガス分析用前処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 西浦 ▲嗣▼晴 ,  ▲高▼見 良貴 ,  出山 匡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-217844
公開番号(公開出願番号):特開2017-106903
出願日: 2016年11月08日
公開日(公表日): 2017年06月15日
要約:
【課題】高純度で抽出対象ガスを分離・抽出することが可能なガス分析用前処理装置及びガス分析用前処理方法を提供する。【解決手段】ガス分析用前処理装置1は、水捕捉セクション3と、吸着セクション5とから構成されている。水捕捉セクション3は、第1のコールドトラップCT1と、第2のコールドトラップCT2とから構成されている。第1のコールドトラップCT1は、第1の温度で冷却し、液相を除去する。第2のコールドトラップCT2は、第1のコールドトラップCT1で精製された水蒸気を含む準抽出対象ガスを、第2の温度で冷却し、水蒸気を除去して準抽出対象ガスを精製する。吸着セクション5は、準抽出対象ガス中の非抽出対象ガスを、ゲッターを用いて吸着する。得られた抽出対象ガスを分析装置11に導入する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
抽出対象ガスが溶存した試料水から水を捕捉して準抽出対象ガスを精製する水捕捉セクションと、 前記準抽出対象ガス中の非抽出対象ガスを吸着する吸着セクションとからなるガス分析用前処理装置であって、 前記水捕捉セクションが、 第1のトラップ路内にある前記試料水を、前記抽出対象ガスが凝集しない第1の温度で冷却し、液相を除去して、水蒸気を含む準抽出対象ガスを精製し、前記第1のトラップ路内を第1の真空環境にする第1のコールドトラップと、 前記第1のコールドトラップで精製されて第2のトラップ路内にある前記水蒸気を含む準抽出対象ガスを、前記水蒸気を凝集させるが、前記抽出対象ガスは凝集しない、前記第1の温度よりも低温である第2の温度で冷却し、前記水蒸気を除去して水蒸気を含まない準抽出対象ガスを精製し、前記第2のトラップ路内を前記第1の真空環境よりも真空度の高い第2の真空環境にする第2のコールドトラップとを含んでおり、 前記吸着セクションが、 ゲッター配置路内にある前記準抽出対象ガス中から、ハロゲン化合物を吸着する第1のゲッターを備えた第1の吸着セクションと、前記第1の吸着セクションで吸着処理された前記準抽出対象ガス中から硫黄化合物を吸着する第2のゲッターを備えた第2の吸着セクションとを含んでおり、前記ゲッター配置路内を前記第2の真空環境よりも真空度の高い第3の真空環境にすることを特徴とするガス分析用前処理装置。
IPC (6件):
G01N 1/10 ,  G01N 1/22 ,  B01J 20/02 ,  B01J 20/04 ,  B01J 20/06 ,  G01N 1/34
FI (7件):
G01N1/10 J ,  G01N1/22 P ,  G01N1/22 L ,  B01J20/02 B ,  B01J20/04 C ,  B01J20/06 C ,  G01N1/34
Fターム (25件):
2G052AA06 ,  2G052AB01 ,  2G052AC05 ,  2G052AD06 ,  2G052AD22 ,  2G052AD26 ,  2G052AD42 ,  2G052BA17 ,  2G052EB13 ,  2G052ED03 ,  2G052FD17 ,  2G052GA24 ,  2G052JA11 ,  4G066AA02B ,  4G066AA03B ,  4G066AA15B ,  4G066AA27B ,  4G066BA01 ,  4G066BA02 ,  4G066BA09 ,  4G066BA42 ,  4G066CA22 ,  4G066CA31 ,  4G066DA01 ,  4G066FA37
引用特許:
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
引用文献:
前のページに戻る