特許
J-GLOBAL ID：201703009764041025
高周波超音波圧電素子、その製造方法、及びそれを含む高周波超音波プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
井関 勝守
, 金子 修平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-126268
公開番号（公開出願番号）：特開2017-011144
特許番号：特許第6122066号
出願日： 2015年06月24日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】板状であり且つその表面に長さ方向に延びる1つの凹部を有する下部電極を準備するステップと、
前記下部電極の前記凹部の底面に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布し、前記塗布された複合体を焼結して圧電膜を形成するステップと、
前記圧電膜の上に、前記凹部が延びる方向に沿って整列するように配置された複数の上部電極を形成するステップとを備え、
前記凹部の表面は曲面状であることを特徴とする高周波超音波圧電素子の製造方法。
IPC (8件)：
H01L 41/318 ( 201 3.01)
, H01L 41/29 ( 201 3.01)
, H01L 41/43 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H04R 31/00 ( 200 6.01)
, H04R 17/00 ( 200 6.01)
, A61B 8/14 ( 200 6.01)
H01L 41/318
, H01L 41/29
, H01L 41/43
, H01L 41/09
, H01L 41/047
, H04R 31/00 330
, H04R 17/00 330 H
, H04R 17/00 332 B
, H04R 17/00 330 A
, A61B 8/14
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献：
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