特許
J-GLOBAL ID:201703016923149432
希土類薄膜磁石及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小越 勇
, 小越 一輝
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-556505
特許番号:特許第6178521号
出願日: 2015年10月19日
請求項(抜粋):
【請求項1】 Si基板上に直接成膜したNd-Fe-Bからなる希土類薄膜磁石であって、前記希土類薄膜の膜厚が70μm以下の場合、Nd含有量が原子数比で0.15≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たし、前記希土類薄膜の膜厚が70μm〜115μm(但し、70μmは除く)の場合、Nd含有量が原子数比で0.18≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たし、前記希土類薄膜の膜厚が115μm〜160μm(但し、115μmは除く)の場合、Nd含有量が原子数比で0.20≦Nd/(Nd+Fe)≦0.25の条件式を満たすことを特徴とする希土類薄膜磁石。
IPC (8件):
H01F 10/14 ( 200 6.01)
, H01F 10/28 ( 200 6.01)
, H01F 41/20 ( 200 6.01)
, H01F 1/057 ( 200 6.01)
, H01F 41/02 ( 200 6.01)
, C23C 14/28 ( 200 6.01)
, C23C 14/58 ( 200 6.01)
, C23C 14/14 ( 200 6.01)
FI (8件):
H01F 10/14
, H01F 10/28
, H01F 41/20
, H01F 1/057
, H01F 41/02 G
, C23C 14/28
, C23C 14/58 A
, C23C 14/14 F
引用特許:
出願人引用 (3件)
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希土類薄膜磁石
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-105964
出願人:日立金属株式会社
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希土類薄膜磁石の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-272892
出願人:国立大学法人名古屋工業大学
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成膜方法及び成膜装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-262596
出願人:国立大学法人長崎大学
引用文献:
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