特許
J-GLOBAL ID：201703019326030768
遮熱膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-236015
公開番号（公開出願番号）：特開2017-101297
出願日： 2015年12月02日
公開日（公表日）： 2017年06月08日
要約：
【課題】反射率を高め、輻射伝熱を抑制してエネルギー効率を高めることができるとともに、耐久性を向上させることができる遮熱膜を提供する。【解決手段】遮熱膜10は、基材11の輻射伝熱を抑制するために基材11表面を被覆して形成される。この遮熱膜10は、基材11側に金属シリサイドよりなる反射膜12を有するとともに、その反射膜12上に該反射膜12の酸化を抑制する酸化抑制膜13が積層されて構成されている。前記金属シリサイドとしては、コバルトシリサイド(CoSi2)、ニッケルシリサイド(NiSi)、チタンシリサイド(TiSi2)又はタンタルシリサイド(TaSi2)が好ましく、コバルトシリサイド又はニッケルシリサイドがさらに好ましい。酸化抑制膜13としては、窒化珪素(Si3N4)の膜が好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材の輻射伝熱を抑制するために基材表面を被覆する遮熱膜であって、
前記基材側に金属シリサイドよりなる反射膜を有するとともに、その反射膜上に該反射膜の酸化を抑制する酸化抑制膜が積層されていることを特徴とする遮熱膜。
IPC (4件)：
C23C 14/06
, C04B 41/87
, C04B 41/89
, C23C 26/00
C23C14/06 E
, C04B41/87 E
, C04B41/89 A
, C23C14/06 A
, C23C14/06 R
, C23C26/00 C
4K029AA02
, 4K029AA08
, 4K029AA27
, 4K029BA52
, 4K029BA58
, 4K029BB02
, 4K029BC10
, 4K029BD09
, 4K029CA05
, 4K029CA06
, 4K029DC02
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029DC16
, 4K029EA01
, 4K044AA02
, 4K044AA03
, 4K044AA06
, 4K044AA13
, 4K044AB02
, 4K044BA11
, 4K044BA18
, 4K044BB03
, 4K044BC09
, 4K044BC11
, 4K044BC12
, 4K044CA13
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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