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J-GLOBAL ID：201802210995689461   整理番号：18A0970930

サブ5nmナノ押込と接着測定のためのMEMSシステム(MEMS)力変位変換器【JST・京大機械翻訳】

A microelectromechanical systems (MEMS) force-displacement transducer for sub-5 nm nanoindentation and adhesion measurements

著者 (4件)： Zhang Youfeng (Department of Mechanical Engineering, Texas A&M University, College Station, Texas 77840, USA) ,  Oh Yunje (Hysitron, Inc., 9625 West 76th Street, Minneapolis, Minnesota 55344, USA) ,  Stauffer Douglas (Hysitron, Inc., 9625 West 76th Street, Minneapolis, Minnesota 55344, USA) ,  Polycarpou Andreas A. (Department of Mechanical Engineering, Texas A&M University, College Station, Texas 77840, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 89  号： 4  ページ： 045109-045109-9  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超浅いナノインデンテーションと接着測定を行うことができる高感度の力変位変換器を示した。この変換器は静電駆動と微小電気機械加工技術と組み合わせた容量センシングを利用する。空気押込実験は,1.8nNの二乗平均(RMS)力分解能と0.019nmのRMS変位分解能を報告した。標準溶融石英試料に関するナノインデンテーション実験は,5nNの実用的RMS力分解能とサブ10nm押込深さにおける0.05nmのRMS変位分解能を報告し,システムが押込み実験に対して非常に低いシステム雑音を有することを示した。高感度と低雑音は,変換器がサブ5nmの接触深さで高分解能ナノインデンテーションデータを得ることを可能にする。高感度力変換器を用いて,14nm薄膜上でのナノインデンテーション測定を行うことに成功した。接着測定も行い,2つの接触面のアプローチと分離中のプルオンとプルオフ力を明確に捕捉した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ナノインデンテーション ,  薄膜 ,  *変換器 ,  *接着 ,  高分解能 ,  分解能 ,  高感度 ,  雑音 ,  *MEMS ,  石英ガラス
準シソーラス用語： 接触面 ,  低雑音 ,  押込み深さ ,  加工技術 ,  静電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  ナノ押込 ,  MEMS ,  力 ,  変位 ,  変換器