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J-GLOBAL ID：201802218784648558   整理番号：18A1696113

スパッタリング法によるZn過剰ZnO薄膜の作製と発光特性の評価

著者 (7件)： 山本峻也 (群馬大 大学院理工学府) ,  内堀智樹 (群馬大 大学院理工学府) ,  原祥大 (群馬大 大学院理工学府) ,  三浦健太 (群馬大 大学院理工学府) ,  野口克也 (群馬大 大学院理工学府) ,  加田渉 (群馬大 大学院理工学府) ,  花泉修 (群馬大 大学院理工学府)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM)  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2018  号： ソサイエティ大会  ページ： ROMBUNNO.C-6-3  発行年： 2018年08月28日 
JST資料番号： G0508B  ISSN： 1349-144X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *スパッタリング ,  *亜鉛 ,  *薄膜 ,  *特性 ,  赤色光 ,  発光 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  *ZnO薄膜 ,  *共スパッタリング ,  赤色発光 ,  *発光特性

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタリング法 ,  Zn ,  ZnO薄膜 ,  作製 ,  発光特性 ,  評価