文献

J-GLOBAL ID：201802231932194340   整理番号：18A1699645

導電性ハードコーティングに向けた周期的N-DLC/金属積層膜の作製

著者 (11件)： 爲國公貴 (豊橋技科大) ,  針谷達 (豊橋技科大) ,  出貝敏 (豊橋技科大) ,  谷本壮 (豊橋技科大) ,  須田善行 (豊橋技科大) ,  滝川浩史 (豊橋技科大) ,  安井治之 (石川工試) ,  金子智 (神奈川県産総研) ,  國次真輔 (岡山県工技セ) ,  神谷雅男 (伊藤光学) ,  瀧真 (オンワード技研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th  ページ： ROMBUNNO.20p-222-16  発行年： 2018年09月05日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 皮膜 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  多層膜 ,  複合膜 ,  タングステン ,  *マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  痕跡 ,  耐摩耗性
準シソーラス用語： DLC【炭素】 ,  *N-DLC ,  *交互積層膜 ,  硬質皮膜 ,  摩耗痕

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導電性 ,  コーティング ,  DLC ,  積層膜 ,  作製