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J-GLOBAL ID：201802232959583333   整理番号：18A1050626

サブミクロン銅薄膜の疲労き裂開閉口挙動に及ぼす真空環境効果

著者 (4件)： 近藤俊之 (大阪大) ,  赤坂昌哉 (大阪大 院) ,  平方寛之 (京大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本材料学会学術講演会講演論文集  (Proceedings of the JSMS Annual Meetings)
巻： 67th  ページ： 61-62  発行年： 2018年05月25日 
JST資料番号： Y0052A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *銅 ,  蒸着膜 ,  *疲れ亀裂 ,  亀裂閉口 ,  *環境効果 ,  真空 ,  大気 ,  疲れ亀裂成長 ,  疲れ亀裂成長速度 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  応力拡大係数 ,  長さ ,  塑性変形
準シソーラス用語： FE-SEM ,  滑り変形 ,  銅薄膜 ,  標点間距離

分類 (2件)： 金属材料  (HC05020S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： サブ ,  銅薄膜 ,  疲労 ,  き裂開閉口 ,  挙動 ,  真空 ,  環境効果