文献

J-GLOBAL ID：201802237155869695   整理番号：18A1565216

タッピングモードAFMにおける補間を用いた表面形状オブザーバの提案(出力飽和中における表面形状推定の改善)

著者 (2件)： 白石貴行 (鹿児島工高専) ,  渡辺創 (鹿児島工高専)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2017  ページ： ROMBUNNO.S1610106  発行年： 2017年09月02日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： タッピングモードAFMでは,カンチレバ先端を振動させて観察試料の表面を軽くタッピングする。カンチレバ先端の振動振幅の包絡線は,観察試料の表面形状によってAM変調される。AM復調のためにその実効値をとり,制御対象の出力として扱う。表面形状はカンチレバ先端の振動振幅内に収まっていることが望ましいが,範囲外となってしまうこともある。この場合,出力は表面形状に関わらず飽和してしまう(以降,出力飽和と呼ぶ)。特に,高速スキャンの場合にはこの現象が起こりやすくなる。出飽和中の表面形状の推定精度は,飽和なしの場合と比較して大幅に劣化することが知られており,タッピングモードAFMの高速スキャンが制限されている大きな要因のひとつとなっている。本研究では,飽和中の出力に対して補間を用いて仮想的に再現し,補間された出力を用いて出力飽和中における表面形状の推定精度を改善することを目的とする。(著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *形態 ,  システムオブザーバ ,  *内挿法 ,  *推定
準シソーラス用語： *AFM【顕微鏡】 ,  *表面形状 ,  オブザーバ【システム】 ,  *補間 ,  *タッピングモードAFM

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (7件)： タッピングモードAFM ,  補間 ,  表面形状 ,  オブザーバ ,  提案 ,  飽和 ,  推定