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J-GLOBAL ID：201802261309488108   整理番号：18A0770232

集束イオンビーム照射により形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱(第3報)-深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化-

著者 (7件)： 梅本好日古 (秋田大) ,  近野佑太 (秋田大 大学院) ,  神津知巳 (秋田大 大学院) ,  山口誠 (秋田大 大学院) ,  川堰宣隆 (富山県工技セ) ,  森田昇 (千葉大 大学院) ,  西村一仁 (工学院大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A34  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される。本研究では,深紫外光励起の顕微ラマン分光法を用いて,加工変質層の構造変化の過程に着目する。Ar雰囲気で加工変質層のグラファイト化が観察された。ドーズ量を変化させることで,スペクトルの変化の様子に違いがあることが分かった。発表では,深紫外光照射によるスペクトルの変化の様子の違いから加工変質層の構造変化のプロセスについて考察する。(著者抄録)

シソーラス用語： 集束イオンビーム ,  イオン照射 ,  *ダイヤモンド ,  紫外線 ,  Raman散乱 ,  紫外線照射 ,  スペクトル ,  顕微Raman分光法 ,  黒鉛化 ,  *加工変質層
準シソーラス用語： 散乱スペクトル ,  深紫外 ,  *単結晶ダイアモンド

分類 (1件)： 赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル一般  (BM08061U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 集束イオンビーム ,  単結晶ダイヤモンド ,  変質 ,  深紫外 ,  ラマン散乱 ,  光照射 ,  スペクトル