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J-GLOBAL ID：201802269671795138   整理番号：18A0414913

マイクロ加工による表面材料特性の改善

著者 (6件)： 安部鷹矢 (熊本大) ,  馬場貴司 (熊本大) ,  柴田司真 (熊本大) ,  中島雄太 (熊本大) ,  日垣英彦 (九州産業大) ,  中西義孝 (熊本大)
資料名： バイオエンジニアリング講演会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会バイオエンジニアリング講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 30th  号： (冊子)  ページ： 208  発行年： 2017年12月13日 
JST資料番号： L0333B  ISSN： 2424-2829  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,機械的除去加工であるMicro Slurry jet Erosion加工を用いたマイクロ構造の創製を目指している。本報では,ガラス表面に微細構造パターンを有するフォトレジストを付与し,Micro Slurry jetErosion加工を用いてテクスチャを創製した。その表面をレーザー顕微鏡で観察し,加工特性・精度について議論した。また,テクスチャリング面の濡れ性の変化を評価するために水の接触角を計測した。その結果,ガラス表面に突起状のテクスチャを創製することができ,ガラス表面が疎水的特性を発現することが明らかになった。(著者抄録)

シソーラス用語： マイクロマシニング ,  微細構造 ,  *ガラス ,  パターン形成 ,  フォトレジスト ,  *テキスチャード加工 ,  濡れ ,  接触角 ,  疎水性 ,  光学顕微鏡 ,  *表面加工
準シソーラス用語： *マイクロスラリージェットエロージョン ,  ミクロ構造 ,  レーザ顕微鏡

分類 (1件)： 表面処理  (YH04112X)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロ加工 ,  材料特性