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J-GLOBAL ID：201802277889079456   整理番号：18A1415216

数値制御プラズマCVMによる中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの高精度加工-円柱試料に対する楕円筒形状の作製-

著者 (8件)： 荒川翔平 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山崎大 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構 J-PARCセ) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 東海事業セ CROSS東海)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2018  ページ： 66-67  発行年： 2018年06月29日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は中性子顕微鏡用の石英ガラス製Wolterミラーマンドレルを,大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたNC-PCVMにより高精度に形状修正することを目的としている。本報では加工精度に影響を及ぼす因子を定量的に評価するため,単位加工溝形状と表面温度を取得して加工速度と表面温度の相関関係を求めた。また数値制御加工により最大高さ1.4μmの楕円筒形状を作製した。その際の形状誤差は0.23μm p-vと0.17μm p-vでサブミクロンオーダの形状精度を達成した。(著者抄録)

シソーラス用語： 数値制御 ,  プラズマジェット ,  工作精度 ,  *化学蒸着 ,  *石英 ,  マンドレル ,  形状精度 ,  *精密加工 ,  *プラズマ加工
準シソーラス用語： 大気圧プラズマジェット

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (11件)： 数値制御 ,  プラズマCVM ,  中性子 ,  顕微鏡 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  高精度加工 ,  円柱 ,  試料 ,  楕円 ,  作製