特許
J-GLOBAL ID:201803004269550148

高周波発生装置、加熱・溶融装置、および結晶作製装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 山川 茂樹 ,  山川 政樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-091580
公開番号(公開出願番号):特開2018-191426
出願日: 2017年05月02日
公開日(公表日): 2018年11月29日
要約:
【課題】酸化物、ハロゲン化物、硫化物をはじめとする誘電体の結晶作製が、製造コストを抑えて実施できるようにする。【解決手段】発振部101、インバータユニット102、整流器ユニット103を備える。発振部101は、複数の高周波変圧器104、高周波コンデンサバンク105、対象物に磁界を印加する誘導コイル106を備える。インバータユニット102は、複数の高周波変圧器104の各々に高周波の交流電力を出力する各々独立した複数のインバータ107を備える。インバータ107は、トランジスタから構成されて入力される直流電流より高周波の交流電力を出力する。整流器ユニット103は、複数のインバータ107の各々に直流電力を出力する複数の整流器108を備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の変圧器、高周波コンデンサバンク、対象物に磁界を印加する誘導コイルを備える発振部と、 前記複数の変圧器の各々に高周波の交流電力を出力する各々独立した複数のインバータを備えるインバータユニットと、 前記複数のインバータの各々に直流電力を出力する複数の整流器を備える整流器ユニットと を備え、 前記インバータは、トランジスタから構成されて入力される直流電流より前記高周波の交流電力を出力し、 前記整流器は、交流電力を前記直流電力に変換する ことを特徴とする高周波発生装置。
IPC (4件):
H02M 7/48 ,  H05B 6/04 ,  C30B 15/14 ,  H05B 6/24
FI (4件):
H02M7/48 E ,  H05B6/04 321 ,  C30B15/14 ,  H05B6/24
Fターム (28件):
3K059AA04 ,  3K059AA08 ,  3K059AA16 ,  3K059AB16 ,  3K059AD35 ,  4G077BB01 ,  4G077BC23 ,  4G077BC24 ,  4G077BC25 ,  4G077BC28 ,  4G077BE02 ,  4G077CF10 ,  4G077EG15 ,  4G077HA02 ,  4G077HA11 ,  4G077HA12 ,  5H770BA09 ,  5H770CA02 ,  5H770DA11 ,  5H770DA24 ,  5H770DA27 ,  5H770DA30 ,  5H770JA01W ,  5H770JA10X ,  5H770JA11Y ,  5H770JA13Y ,  5H770PA02 ,  5H770PA42
引用特許:
審査官引用 (5件)
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