特許
J-GLOBAL ID：201803008255479985
センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-135162
公開番号（公開出願番号）：特開2018-000158
出願日： 2016年07月07日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】感度を安定化させる。【解決手段】集積回路センサ(10)は、近傍にある被検査体の複層誘電率および複素透磁率に応じて発振周波数を変化させる発振器(24)と、発振器(24)を覆う被覆膜(5)と、を備える。被覆膜(5)に、上面視において発振器(24)と重なるように、微小窪み(6)が形成されており、発振器(24)は、微小窪み(6)の内部に存在する被検査体のみの物性に応じて発振周波数を変化させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板の上に少なくとも1つ配置され、近傍にある被検査体の物性に応じて発振周波数を変化させる発振器と、
前記発振器の上方に少なくとも配置されている第1保護膜と、を備え、
前記第1保護膜に、窪みが少なくとも1つ形成されており、
前記窪みは、上面視において、前記発振器と重なる位置に位置し、
前記発振器は、前記窪みの内部に存在する被検査体のみの物性に応じて発振周波数を変化させることを特徴とするセンサ装置。
IPC (4件)：
C12M 1/34
, G01N 33/48
, G01N 27/72
, G01N 27/22
C12M1/34 B
, G01N33/48 Z
, G01N27/72
, G01N27/22 Z
2G045AA24
, 2G045AA28
, 2G045BA13
, 2G045BB20
, 2G045FA34
, 2G045FA36
, 2G045FB05
, 2G045GC16
, 2G045GC20
, 2G045HA09
, 2G045HA14
, 2G045JA07
, 2G053AA01
, 2G053AB07
, 2G053BA05
, 2G053BA08
, 2G053CA19
, 2G053CB13
, 2G060AA06
, 2G060AA15
, 2G060AD06
, 2G060AF10
, 2G060HA02
, 2G060HC10
, 4B029AA07
, 4B029BB01
, 4B029FA02
, 4B029FA10
