特許
J-GLOBAL ID：201803014952073580
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人開知国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-561207
特許番号：特許第6236546号
出願日： 2014年11月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光により、前記空間光位相変調器を介して得られる前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体の表面形状を計測する表面形状計測部と、
空間光位相変調器を介して被検査体に照射された光により、前記空間光位相変調器を介して得られる前記被検査体からの反射光の干渉状態に基づいて、前記被検査体を磁化する励磁装置により磁化された前記被検査体の表面の磁場分布を計測する磁場分布計測部と、
前記表面形状計測部により得られた前記被検査体の表面形状の計測結果である表面形状データに基づいて、前記磁場分布計測部により得られた前記被検査体の磁場分布の計測結果である磁場分布データから前記被検査体の表面に存在する磁場特異部のデータを分離するデータ分離部と
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01N 27/83 ( 200 6.01)
, G01N 21/88 ( 200 6.01)
, G01N 21/21 ( 200 6.01)
, G01R 33/10 ( 200 6.01)
G01N 27/83
, G01N 21/88 H
, G01N 21/21 A
, G01R 33/10
