文献
J-GLOBAL ID:200902000037911765
整理番号:89A0444587
シリコンを用いた微細機械工作により製作したカンティレバー構造を有するバッチ製造非可逆バルブ
A batch-fabricated non-reverse valve with cantilever beam manufactured by micromachining of silicon.
著者 (3件):
TIR<span style=text-decoration:overline>E ́</span>N J
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
TENERZ L
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
HOEK B
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名:
Sensors and Actuators (Lausanne)
(Sensors and Actuators (Lausanne))
巻:
18
号:
3/4
ページ:
389-396
発行年:
1989年07月
JST資料番号:
B0345B
ISSN:
0250-6874
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)