文献
J-GLOBAL ID:200902000165467665
整理番号:91A0913644
(110)配向の円形シリコンダイヤフラム上に形成された複数のセンサを持つインテリジェント差圧発信器
Intelligent Differential Pressure Transmitter with Multiple Sensor Formed on a (110)-Oriented Circular Silicon Diaphragm.
著者 (5件):
SHIMADA S
(Hitachi, Ltd., Hitachi-Shi, JPN)
,
UGAI S
(Hitachi, Ltd., Hitachi-Shi, JPN)
,
SAKAMOTO S
(Hitachi, Ltd., Hitachi-Shi, JPN)
,
SASE A
(Hitachi, Ltd., Katuta-Shi, JPN)
,
SHIMIZU Y
(Hitachi, Ltd., Katuta-Shi, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Industrial Electronics
(IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻:
38
号:
5
ページ:
379-384
発行年:
1991年10月
JST資料番号:
C0234A
ISSN:
0278-0046
CODEN:
ITIED6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)